超真空干燥箱（极限真空≤10⁻⁴ mbar）的真空泵配置需满足以下核心要求：
一、真空泵选型组合要求
1.多级泵组合
必须采用罗茨泵+旋片式油泵串联方案：
罗茨泵负责快速抽取大流量气体（抽速≥100L/s），作为主增压单元。
旋片油泵作为前级泵提供基础真空（极限真空≤10⁻³ mbar），支撑罗茨泵高效运行。
2.防污染设计
若处理腐蚀性/挥发性样品（如酸雾、有机溶剂），需选用全PTFE涂层泵体的防腐蚀机型，避免阀片腐蚀失效。
非腐蚀性场景可配置常规旋片泵，但需加装冷阱或过滤装置防止油蒸气回流污染样品。
二、关键性能参数
1.极限真空；≤10⁻⁴ mbar；需罗茨泵组实现超高真空环境。
2.抽气速率；≥100L/s（罗茨泵）；容积>100L时需更高抽速。
3.温度兼容性；5℃~40℃运行环境；避免低温结冰或高温宕机。
三、安装与操作规范
1.连接流程
超真空干燥箱→真空橡胶管→罗茨泵进气口→罗茨泵排气口→旋片泵进气口，确保全管路密闭。
2.防倒吸措施
停机时先关真空阀→再关罗茨泵→最后关旋片泵，防止泵油倒灌。
箱内需加装隔阻网，避免粉末样品吸入泵体。
3.维护要求
旋片泵需定期更换专用真空泵油（建议500小时/次）。
长期停用需排空泵油并清洗油路。
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